技术参数

               CMS-554C           CMS-665C    

   型 号        CMS-574C           CMS-685C             

               CMS-584C           CMS-6105C

          X      500                600           

行程(mm)  Y   500/700/800       600/800/1000

           Z      400                500           

结构形式        移动桥式           移动桥式     

空间精度um           MPEE=(3.0+L/300)             

分辨率            0.5um               0.5um  

外形尺寸(m)  1.2*1.3/1.5/1.6*2.3    1.3*1.4/1.6/1.8*2.5

整机重量(kg)   980/1120/1200       1100/1250/1400 

最大承重量(kg)     500                800 

包装外形尺寸(m)1.3*1.6/1.8/1.9*2.2 1.4*1.7/1.9/2.1*2.4 

工作环境

电源范围      220±10% AC          50/60HZ         

湿度范围      40%--70% 

温度范围      20±2度 <1度/ h    <2度24h  < 1度/m

空气流量      120L/min(0.4MPa)   气源压力≥0.5mpa